2024年6月18日，天眼查知识产权信息披露，南京晶升装备股份有限公司取得了一项专利，名为“碳化硅长晶时晶体厚度及质量测量系统及方法”。专利授权公告号为CN114427826B，申请时间为2021年12月。
专利摘要介绍，该发明提供了一种测量碳化硅晶体厚度和质量的系统和方法。测量系统包含石墨盘、电阻检测模块、计算模块和显示模块。
通过将导电棒与石墨盘电连接，系统可实时测量导电棒之间的电阻。通过将电阻转化为碳化硅晶体生长过程中的厚度和质量，系统能够实时显示数据。这有助于操作人员实时监控碳化硅晶体的生长情况，并在其不符合要求时及时调整工艺，无需等待晶体出炉。
