江苏微导纳米科技股份有限公司于2023年4月申请了一项专利，授权公布号为CN116398726B，名为“导气装置、腔体结构及其使用方法、处理设备”。
专利摘要表明，该申请涉及导气装置、腔体结构、使用方法和处理设备，包括导气筒、动力源、推动件和弹性组件。导气筒沿特定方向导气，推动件可沿特定方向活动地安装在承重体上，动力源位于承重体上，用于驱动推动件移动。
弹性组件在特定方向上连接导气筒和推动件，可发生弹性变形。该技术方案可提高导气装置入口端与外部通道出口端的密封性，减少外部通道物质的逸出，有助于延长设备维护周期，降低维护成本，并提高资源利用率。
