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风刀组件及气相沉积装置专利:均匀吹气、吸气技术

天眼查知识产权信息显示,深圳市曼恩斯特科技股份有限公司获得了一项名为“风刀组件及气相沉积装置”的专利(授权公告…

天眼查知识产权信息显示,深圳市曼恩斯特科技股份有限公司获得了一项名为“风刀组件及气相沉积装置”的专利(授权公告号:CN202420063178.X),申请日期为2024年1月。

风刀组件及气相沉积装置专利:均匀吹气、吸气技术

专利摘要指出,本实用新型提供了一种风刀组件及气相沉积装置,应用于玻璃制造设备技术领域。风刀组件包括吹气主板和吹气副板。吹气主板上设置至少一个进气口,进气口进入的气体经过第一上凹腔、第二上凹腔和第一下凹腔后进入第一狭缝。

本实用新型提供的风刀组件能够平稳气流,实现均匀吹气,防止吹气不均导致玻璃表面反应不均。风刀组件内设置冷却腔,保证混合气体在未从第一狭缝流出前维持较低温度,避免混合气体提前反应。吸气组件能够均匀吸走废气,实现均匀吸气,防止吸气不均引起玻璃表面反应不均,影响产品质量。

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作者: baixiuhui1

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